记者今天(tian)了解(jie)到,我国建成首套高精度圆度(du)基准(zhun)装(zhuang)置,这一(yi)标志性成果填补了国内(nei)圆度量值溯源体(ti)系空(kong)白,标(biao)志着我国(guo)在高精度圆度测(ce)量领域实(shi)现跨(kua)越(yue)式发展,整体技术(shu)能力跻身国(guo)际先进行列?????。将为我国(guo)航空(kong)航天、高端机床(chuang)、先进光(guang)学、半(ban)导体(ti)制(zhi)造等(deng)战略(lue)产(chan)业提供(gong)高可(ke)靠、高精度的量值溯源支撑(cheng),不仅完善(shan)了国家(jia)几何(he)量计量体系,更以高(gao)精尖(jian)计量(liang)赋能(neng)制造强国、质量强国建设,为新一轮科技发展(zhan)与(yu)产(chan)业(ye)变革注入强(qiang)劲(jin)动能?????。
圆度是几何量形(xing)位(wei)公差体(ti)系中(zhong)的(de)核(he)心基础参数(shu)之一,其(qi)测(ce)量精度直接决定精密(mi)主轴、先进光学元件及半导(dao)体芯片等高端制造领域(yu)的产品性(xing)能与装配质量(liang)?????。长期以来,我国(guo)虽已(yi)建(jian)立(li)平(ping)面度等几何量计量基准(zhun),但圆度量值始终缺乏国家级溯(su)源源头,成为制约高端装备自主可控和产(chan)业高质量发(fa)展的“卡脖子(zi)”难题?????。
此次(ci)建成(cheng)的圆(yuan)度基准装置,系统集成了多项自主创新技术,成功破解高准确度圆度评定、主轴误差分(fen)离、滤波(bo)一致性控(kong)制等国际(ji)性技术(shu)瓶颈?????。装置创新提(ti)出基于高准确度(du)圆(yuan)度滤波与全效数据(ju)利用的圆度计算(suan)模型(xing),有效(xiao)解决了(le)标(biao)准半(ban)球(qiu)分(fen)离后轮廓重构的稳定性难题;自主研发(fa)新型误(wu)差分离技术,大幅抑制主(zhu)轴(zhou)回转误差(cha),将圆度(du)测量不确定度从20纳米降(jiang)至6纳(na)米(mi),测量(liang)能力达到国际先进水平(ping);实(shi)现了高准确(que)度圆(yuan)度测量的若(ruo)干(gan)核(he)心关键技术(shu)自(zi)主可控,打破国外长期技术垄断,为全面(mian)国产化替代(dai)奠定了坚(jian)实(shi)的技术支撑(cheng)?????。
(总台央视记者 李晶晶)【编辑(ji):苏(su)亦(yi)瑜】